平面靶材

品 名：平面靶材

材 质：Ti Zr Cr Ni Cu TiAl CrAl NiCr等

纯 度：99.5%—99.99%

晶 粒 度：<100um

应用领域：工具镀膜、装饰镀膜、电子行业、平面显示器行业等

简介：

平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材，例如：直径100*厚度40mm的铜靶材。平面靶材通过镙文等方式与溅射设备相连接，在真空条件下溅射成膜层附着于基片上，再通过各种手段(刻蚀)对薄膜加工，以满足不同需要。

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