真空镀膜颜色发黑是是因为炉体内有残留的空气和真空值低才会造成发黑现象。你的颜色不一致可能是你的靶材的位置和基板的位置有差距，才会有色差。

真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。主要分为：蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。

影响靶材中毒的因素主要是反应气体和溅射气体的比例，反应气体过量就会导致靶中毒。那么在真空镀膜靶材中毒会出现什么现象?又如何处理呢?宝鸡欧凯帮您寻找答案。　

靶中毒现象是怎么回事?一般情况下，金属化合物的二次电子发射系数比金属的高，靶中毒后，靶材表面都是金属化合物，在受到离子轰击之后，释放的二次电子数量增加，提高了空间的导通能力，降低了等离子体阻抗，导致溅射电压降低。