热喷涂旋转靶材是把涂层材料直接喷涂于衬管上,不需要另外的粘结工序。这和低熔点金属(熔点<450℃)的直接浇铸和整体式甩带浇铸相同。然而，Ag等一些熔点较高的“软”金属必需分别粘结。

旋转靶材是磁控的靶材。靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。

溅射属于PDV（物理气相沉积）三种基本方法：真空蒸发、溅射 、离子镀（空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀）中的一种。

据最新报道，攀时高性能材料（Plansee High Performance Materials）日前推出具有高纯度和均匀精细的显微结构的MoNa溅射靶材。该材料有效提高了CIGS电池效率。

目前市场上用得最多的是氧化铌平面靶材，虽然平面靶材技术趋于成熟，但是平面靶材在使用过程中利用率只有20% — 25%。本文旨在介绍一种高致密性氧化铌旋转靶材的制备方法。