欧凯靶材专家指出，与其它形式的磁控溅射靶相比，圆柱形、平面式磁控溅射靶在保留了矩形平面靶镀膜均匀性好的优点的同时，可通过以下两条途径最大限度地提高靶材的利用率。

本文主要介绍各个平面靶材的主要成分及结构。

圆形平面靶采用螺钉或钎焊方式紧紧固定在由永磁体(包括环形磁铁和中心磁柱)、水冷套和靶外壳等组成的阴极体上。圆形平面磁控溅射靶的结构。

溅射靶材根据形状可分为平面靶材，多弧靶材，旋转靶材。平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材。本文从平面靶材的成分结构，生产工艺和应用领域方面介绍了平面靶材。