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平面靶材

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  • 八月
    02
    圆柱形、平面式磁控溅射靶材的优势

    欧凯靶材专家指出,与其它形式的磁控溅射靶相比,圆柱形、平面式磁控溅射靶在保留了矩形平面靶镀膜均匀性好的优点的同时,可通过以下两条途径最大限度地提高靶材的利用率。

  • 七月
    21
    平面靶材的主要成分结构

    本文主要介绍各个平面靶材的主要成分及结构。

  • 七月
    17
    圆形平面磁控溅射靶材结构

    圆形平面靶采用螺钉或钎焊方式紧紧固定在由永磁体(包括环形磁铁和中心磁柱)、水冷套和靶外壳等组成的阴极体上。圆形平面磁控溅射靶的结构。

  • 六月
    14
    平面靶材简介

    溅射靶材根据形状可分为平面靶材,多弧靶材,旋转靶材。平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材。本文从平面靶材的成分结构,生产工艺和应用领域方面介绍了平面靶材。 

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