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靶材中毒是怎么回事

浏览数量:489     作者:欧凯靶材小编     发布时间: 2017-08-18      来源:欧凯靶材

靶材中毒是怎么回事

  靶材中毒是怎么回事?


  靶材中毒是由于在溅射过程中带正电的离子聚集在靶表面,没有得到中和,出现靶表面负偏压逐步下降,最后干脆罢工不工作了,这就是靶中毒现象。


  靶材中毒的原因主要有:


  1、真空室漏气或漏水


  2、真空室内有挥发的成分


  3、没有充入氩气,充入空气或其他其他,可能引起中毒


  4、这些成分与靶材反应,变成黑色覆盖靶材表面,影响成膜速度。


  靶材中毒处理方法:


  将靶材用中品源或射频源打一两个小时,可以恢复。


  将靶材拆出来,用砂纸抛光,也可解决。


  防止靶材中毒,首先保证真空室不漏,清理内部,除去挥发成分等。


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