靶材中毒是怎么回事

　　靶材中毒是怎么回事?

　　靶材中毒是由于在溅射过程中带正电的离子聚集在靶表面，没有得到中和，出现靶表面负偏压逐步下降，最后干脆罢工不工作了，这就是靶中毒现象。

　　靶材中毒的原因主要有：

　　1、真空室漏气或漏水

　　2、真空室内有挥发的成分

　　3、没有充入氩气，充入空气或其他其他，可能引起中毒

　　4、这些成分与靶材反应，变成黑色覆盖靶材表面，影响成膜速度。

　　靶材中毒处理方法：

　　将靶材用中品源或射频源打一两个小时，可以恢复。

　　将靶材拆出来，用砂纸抛光，也可解决。

　　防止靶材中毒，首先保证真空室不漏，清理内部，除去挥发成分等。

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