真空镀膜靶材的中毒现象及处理方法

　　影响靶材中毒的因素主要是反应气体和溅射气体的比例，反应气体过量就会导致靶中毒。那么在真空镀膜靶材中毒会出现什么现象?又如何处理呢?宝鸡欧凯帮您寻找答案。

　　靶中毒现象

　　(1)正离子堆积：靶中毒时，靶面形成一层绝缘膜，正离子到达阴极靶面时由于绝缘层的阻挡，不能直接进入阴极靶面，而是堆积在靶面上，容易产生冷场致弧光放电---打弧，使阴极溅射无法进行下去。

　　(2)阳极消失：靶中毒时，接地的真空室壁上也沉积了绝缘膜，到达阳极的电子无法进入阳极，形成阳极消失现象。

　　靶中毒的解决办法

　　(1)采用中频电源或射频电源。

　　(2)采用闭环控制反应气体的通入量。

　　(3)采用孪生靶

　　(4)控制镀膜模式的变换：在镀膜前，采集靶中毒的迟滞效应曲线，使进气流量控制在产生靶中毒的前沿，确保工艺过程始终处于沉积速率陡降前的模式。