浏览数量:131 作者:本站编辑 发布时间: 2017-06-30 来源:本站
影响靶材中毒的因素主要是反应气体和溅射气体的比例,反应气体过量就会导致靶中毒。那么在真空镀膜靶材中毒会出现什么现象?又如何处理呢?宝鸡欧凯帮您寻找答案。
靶中毒现象
(1)正离子堆积:靶中毒时,靶面形成一层绝缘膜,正离子到达阴极靶面时由于绝缘层的阻挡,不能直接进入阴极靶面,而是堆积在靶面上,容易产生冷场致弧光放电---打弧,使阴极溅射无法进行下去。
(2)阳极消失:靶中毒时,接地的真空室壁上也沉积了绝缘膜,到达阳极的电子无法进入阳极,形成阳极消失现象。
靶中毒的解决办法
(1)采用中频电源或射频电源。
(2)采用闭环控制反应气体的通入量。
(3)采用孪生靶
(4)控制镀膜模式的变换:在镀膜前,采集靶中毒的迟滞效应曲线,使进气流量控制在产生靶中毒的前沿,确保工艺过程始终处于沉积速率陡降前的模式。