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真空热压法制备ITO靶材的优缺点

浏览数量:118     作者:本站编辑     发布时间: 2017-08-14      来源:本站

真空热压法制备ITO靶材的优缺点

  真空热压是利用热能与机械能将材料陶瓷致密化的工艺,可制备出密度达91%~96%的高密度ITO陶瓷靶材。热压法的工艺流程是利用加热加工模具后,注入试料,以压力将模型固定于加热板,控制试料之熔融温度及时间,以达融化后硬化、冷却,再予以取出模型成品即可。


  热压法是加压成型和加热烧结同时进行的工艺,此工艺的优点是:


  (1)热压时,因为粉末处于热塑性状态,形变阻力小,易于塑性流动和致密化,所以所需的成型压力较小。


  (2)由于同时加温、加压,有助于粉末颗粒的接触、扩散和流动等传质过程,降低了烧结温度和缩短烧结时间,抑制了晶粒的长大。


  (3)热压法容易获得接近理论密度、气孔率接近于零的烧结体,容易得到细晶粒的组织。


  此方法的主要缺点为:由于受热压设备压力和模具尺寸所限,靶材尺寸较小,目前靶材最大尺寸为400×300mm;对模具材料要求高(一般为高纯高强石墨),模具寿命短,损耗大,且在高温下与ITO靶材容易发生还原反应。热压机需要进口,而且不适于工业化连续生产,生产效率低,产品成本高;靶材晶粒均一性差。


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