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铝合金溅镀靶材工艺

浏览数量:5     作者:本站编辑     发布时间: 2017-07-07      来源:本站

铝合金溅镀靶材工艺

  关于用铸造法和溅射成形法制备铝合金溅镀靶材,铸造法的缺点是靶材易发生偏析现象,影响溅镀薄膜的质量,且溅镀靶表面易产生微颗粒,影响薄膜性质的均匀性。溅射成形法虽然能避免铸造法的缺点,但工艺复杂,制备成本较高,质量不易控制。

  中国台湾财团法人工业技术研究院采用气喷粉末方法制备铝合金溅镀靶材,能够避免材料偏析和微颗粒现象,生产效率高,成本较低。其制备工艺如下;

  1)熔熔金属原料。

  2)然后以气喷法将该金属熔液制成金属粉末。

  3)筛分合金粉,获得适当粒径的粉末。

  4)最后,以真空热压法将该筛分后的金属粉末成形,制成铝合金溅镀靶材。热压成形温度为500~ 650℃,时间为80 ~ 100min,压力为20 ~50MPa;通入氩气作为保护气体,氢气作为还原气体。


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