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高纯度溅射靶材是制造芯片的关键材料

浏览数量:154     作者:欧凯靶材小编     发布时间: 2018-01-17      来源:欧凯靶材

高纯度溅射靶材是制造芯片的关键材料

  芯片到底是从何而来呢?这个类似饼状的金属材料,叫高纯度溅射靶材,它是半导体芯片制造中的关键材料。目前全球只有三个国家四家公司掌握这种材料的制造工艺。这些金属靶材,最核心的是它的纯度。一般的金属能达到99.8的纯度,而制作芯片需要的金属纯度是99.999。因为纯度太高,指甲轻轻一划就会有划痕,任何细微的瑕疵都会导致这一块价值上万美元的靶材报废。


  目前,姚力军他们生产的高纯钛金属,已经达到美国、日本的产品性能,完全满足了芯片制造所需要的纯度,再也不受制于人,打破了日美在这一战略金属材料领域的垄断。


  作为全球范围内掌握高纯金属及溅射靶材关键技术的核心专家之一,11年前,已经在日本工作的姚力军带着技术回到国内。姚力军回忆道,当初向美国的霍尼韦尔和日本大阪太业申请购买超高纯钛,结果都被拒绝了,于是决定自己制造。


  2005年10月,江丰电子实现了第一块中国制造靶材研发成功,每天500公斤的产量看上去并不算多,但是我国在这一领域的产品几乎为0,填补了中国溅射靶材工艺的空白。当时,中国不仅溅射靶材工艺是空白,就连生产靶材的高纯金属原材料也要全部依赖进口。


  “从工艺制造到关键的大设备都是我们自行设计的,在中国找不到第二家能够做这样的产品。”姚力军介绍道,从设计到制造,江丰电子拥有自己知识产权的,这家工厂整个投资6亿元,如果采用全进口,不用说人家卖不卖,即使能买来全部造价也要高达20亿元,核心装备受制于人,产品竞争力无从谈起。


  金属靶材的金属原子被一层层建设到芯片上,再利用特殊的工艺把它们切割成金属导线,芯片的信息传输全靠这些金属导线。如今的市面上的很多手机、平板电脑都采用了江丰电子的产品。


  中国每年进口芯片超过2000多亿美元,总值已经超过石油、粮食等。对于中国智造来说,芯片不仅决定着设备的运行,还决定着产业的国际分工角色。尽管目前科技产业在国内风生水起,整个终端产品的制造环节更是占到了全球80%以上的份额,但就产业链上游的芯片来说,中国企业要突破的关键技术还有不少。


  姚力军表示,目前江丰电子超纯钛产品每月产出只有3~5吨,还不能满足当前生产的需求,面临巨大的产能压力。我们预计在未来的三年时间,所需要的超高纯钛每年要达到250~300吨,所以一方面江丰电子会采用与跨国公司合作的方式,另一方面同时迅速培养我们自己的产能。


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