浏览数量: 217 作者: 本站编辑 发布时间: 2017-08-21 来源: 本站
我们都了解,靶材的分类方法很多。根据材料的种类,靶材包括金属及合金靶材、无机非金属靶材和复合靶材等。根据不同的几何形状,靶材分为长(正)方体形靶材、圆柱体形靶材和不规则形状靶材。不少朋友对于金属靶材的纯度存在疑问,下面我们看看欧凯靶材专家的讲解。
常见金属靶材的最高纯度:
钛靶最高纯度可达到Ti------99.999%
钽靶最高纯度可达到Ta------99.995%
铝靶最高纯度可达到AL-----99.9995%
铜靶最高纯度可达到Cu-----99.9999%
金靶(Au)最高纯度可达到Au-----99.999%
由于电子薄膜、光学薄膜、光电薄膜、磁性薄膜和超导薄膜等在高新技术和工业上的大规模开发应用,靶材已逐渐发展成为一个专业化产业。随着高新技术的不断发展,世界的靶材市场还将进一步扩大。