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真空溅射镀膜膜层为什么会脱落

浏览数量:71     作者:本站编辑     发布时间: 2017-09-06      来源:欧凯靶材

真空溅射镀膜膜层为什么会脱落

真空溅射镀膜膜层为什么会脱落?欧凯溅射靶材专家指出:真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内,采用一定方法加热待镀材料,使之蒸发或升华,并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。主要分为:蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。


真空溅射镀膜是用高能粒子轰击固体表面时能使固体表面的粒子获得能量并逸出表面,沉积在基片上。通常将欲沉积的材料制成板材——靶,固定在阴极上。基片置于正对靶面的阳极上,距靶几厘米。系统抽至高真空后充入 10-1帕的气体(通常为氩气),在阴极和阳极间加几千伏电压,两极间即产生辉光放电。


放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极,与靶表面原子碰撞,受碰撞从靶面逸出的靶原子称为溅射原子,其能量在1至几十电子伏范围。溅射原子在基片表面沉积成膜。


与蒸发镀膜不同,溅射镀膜不受膜材熔点的限制,可溅射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等难熔物质。


真空溅射镀膜膜层为什么会脱落?


1.底漆未充分固化,应延长底漆的固化时间

2.镀件除油脱脂不彻底,应加强镀前处理

3.真空室内不清洁,应清洗真空室,值得注意的是,在装靶和拆靶的过程中,严禁用手或不干净物体与磁控源接触,以保证磁控源具有较高的清洁度。

4.夹具不清洁,应清洗夹具。

5.底涂料选用不当,应更换涂料。

6.溅射工艺条件控制不当,应改进溅射工艺条件。


【温馨提示】关于真空溅射镀膜膜层为什么会脱落的相关就问您讲解到这里,值得注意的是,溅射不适用于非导电材料,而且溅射不适用于低硬度材料,如非金属材料.希望您有所了解。若您对以上内容或产品存在任何疑问,欢迎点击在线询价服务,客服会在第一时间回复您!


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