常见的金属靶材有哪些

　　我们都了解，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。靶材种类比较多，有金属类、合金类、氧化物类等等，用的行业也有所不同，应用很广泛。那么常见的金属靶材有哪些?下面我们一起了解一下吧。

　　常见金属靶材的种类如下：

　　常规金属靶材 镁Mg、锰Mn、铁Fe、钴Co、镍Ni、铜Cu、锌Zn、铅Pd、锡Sn、铝Al

　　小金属靶材 铟In、锗Ge、镓Ga、锑Sb、铋Bi、镉Cd

　　难熔金属靶材 钛Ti、锆Zr、铪Hf、钒V、铌Nb、钽Ta、铬Cr、钼Mo、钨W、铼Re

　　贵金属靶材 金Au、银Ag、钯Pd、铂Pt、铱Ir、钌Ru、铑Rh、锇Os

　　半金属靶材 碳C、硼B、碲Te、硒Se

　　稀土金属靶材 钆Gd、钐Sm、镝Dy、铈Ce、钇Y、镧La、镱Yb、铒Er、铽Tb、钬Ho、铥Tm、钕Nd、镨Pr、镥Lu、铕Eu、钪Sc

　　陶瓷靶材 氧化锌铝AZO、氧化铟锡ITO、氧化锌ZnO、氮化铝AlN、氮化钛TiN、氮化硼BN、钛酸钡BaTiO3、钛酸铋BiTiO3、碳化硅SiC、钛酸锶SrTiO3、碳化钛TiC、碳化钨WC、铌酸锂LiNbO3

　　合金靶材 金锡合金AuSn、金锗镍合金AuGeNi、锌铝合金ZnAl、铝铜合金AlCu、钴铁硼合金CoFeB、铁锰合金FeMn、铱锰合金IrMn、锆钛合金ZrTi、镍铬合金NiCr、铜铟镓合金CuInGa、铜锌锡硫合金CZTS