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钼靶材和铝靶材的生产工艺

浏览数量:20     作者:本站编辑     发布时间: 2017-07-10      来源:本站

钼靶材和铝靶材的生产工艺

  随着科技的发展,溅射靶材在各个行业应用广泛。宝鸡欧凯溅射靶材今天主要为大家介绍钼靶材和铝靶材的生产工艺。

  钼靶材工艺:以粉末冶金方法制成靶材坯料为原料;靶材坯料经过机械加工后和无氧铜(OFC)背板在洁净环境下焊接制成基础靶材;基础靶材经超声波无损探伤检测,焊接结合率达到98%以上,再进行精细机械加工,以保证靶材的精度要求,满足靶材电场、磁场、冷却水道等的安装要求;最后将精加工后的靶材送至净化室清洗和封装,去除表面附着的任何无机物及有机物,装入特殊的塑料袋中,以防氧化、污染和潮湿。

  铝靶材工艺:首先原料入厂经切断后,进行塑性加工和热处理,以改善其微观组织结构,制成靶材坯料;靶材坯料经过机械加工后和无氧铜(OFC)背板在洁净环境下焊接制成基础靶材;基础靶材经超声波无损探伤检测,焊接结合率达到98%以上,再进行精细机械加工,以保证靶材的精度要求,满足靶材电场、磁场、冷却水道等的安装要求;最后将精加工后的靶材送至净化室清洗和封装,去除表面附着的任何无机物及有机物,装入特殊的塑料袋中,以防氧化、污染和潮湿。


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