氧化锌铝靶材的制备方法

欧凯靶材专家指出，磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式,溅射靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如，尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸与缺陷控制;较高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等。

AZO是铝掺杂的氧化锌(ZnO)透明导电玻璃的简称，ZnO薄膜是一种重要的光电子信息材料，不仅具有与传统的ITO薄膜相比拟的光电性质，而且原料丰富，价格低，无毒性，热稳定性高，在太阳能电池、液晶显示器及光电探测器等领域有着广泛的应用前景。

氧化锌铝靶材的制备方法包括以下步骤：

1、以锌盐和铝盐为原料，加纯水溶解，调pH至7.0～10.5，然后在水热条件下，控温90～140℃反应1.0～2.0小时;

2、过滤使产物和母液分离，用纯水洗涤、烘干，得到氧化锌铝粉体;

3、所得粉体在400～550℃煅烧2小时;

4、将步骤(3)所得粉体装入真空热压炉，抽真空1～100Pa，加压50～100MPa，然后慢慢升温，在1200～1400℃内保温烧结2～5小时，再缓慢降温，制得相对密度不低于95%的氧化锌铝(ZAO)陶瓷靶材。

我公司所生产的的氧化锌铝靶材具有纯度高，杂质少，相对致密度高，晶粒均匀，一致性高等优势，欢迎社会各界人士考察参观，若您对以上氧化锌铝靶材的制备方法有任何疑问，或是想要了解产品的价格，您可点击【在线咨询】服务，客服会在第一时间回复您。