PVD磁控溅射真空镀膜注意事项

PVD的全称是物理气象沉积,即英文(Phisical Vapor Deposition)的简写形式。 目前PVD主要有蒸发镀膜，磁控溅射镀膜，多弧离子镀膜，化学气相沉积等形式。 PVD总的来说属于绿色环保产业，和其他行业相比，对人体有害很小，但不是没有。当然，也完全可以有效减少，甚至完全消除。

PVD磁控溅射真空镀膜注意事项：

1.辐射：有些镀膜要用到射频电源，如功率大，需做好屏蔽处理。另外，欧洲标准在单室镀膜机门框四周嵌装金属线屏蔽辐射。

2.金属污染：镀膜材料有些(如铬、铟、铝)是对人体有害的，特别要注意真空室清理过程中出现的粉尘污染;

3.噪音污染：如特别是一些大的镀膜设备，机械真空泵噪音很大，可以把泵隔离在墙外;

4.光污染：离子镀膜过程中，气体电离发出强光，不宜透过观察窗久看;

PVD磁控溅射镀膜机的一般工作温度为多少?

溅射靶材专家指出，要看具体镀膜的类别和基材的情况而定，一般温度在0~500之间都是可控的。