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溅射靶材是什么

浏览数量:129     作者:本站编辑     发布时间: 2017-09-18      来源:本站

溅射靶材是什么

溅射靶材是什么?专家指出,靶材就是目标材料。用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。


简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。用于物理镀膜中的溅镀,主要有金属靶材和陶瓷靶材。


高纯高密度溅射靶材有溅射靶材(纯度:99.9%-99.999%)


  1. 金属靶材:


镍靶、Ni、钛靶、Ti、锌靶、Zn、铬靶、Cr、Sn、铝靶、Al、镁靶、Mg、铌靶、Nb、锡靶、铟靶、In、铁靶、Fe、锆铝靶、ZrAl、钛铝靶、TiAl、锆靶、Zr、铝硅靶、AlSi、硅靶、Si、铜靶Cu、钽靶T、a、锗靶、Ge、银靶、Ag、钴靶、Co、金靶、Au、钆靶、Gd、镧靶、La、钇靶、Y、铈靶、Ce、钨靶、w、不锈钢靶、镍铬靶、NiCr、铪靶、Hf、钼靶、Mo、铁镍靶、FeNi、钨靶、W等。


2. 陶瓷靶材


ITO靶、氧化铁靶、氮化硅靶、氧化镁靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶,二硼化钛靶,二硼化锆靶,三氧化钨靶,二氧化铪靶,三氧化二铝靶五氧化二钽,五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、硒化锌靶、氮化铝靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化钛靶,碳化硅靶,铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶、溅射靶材等。


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