直流磁控溅射靶材被穿透时产生的现象

　　有许多客户会有这样的疑问，在金属靶材生产过程中，怎样监控靶材用量?随着靶材变薄，电压是不是会降低?宝鸡欧凯溅射靶材帮您解决这个问题。

　　1. 靶材穿透 不等于 电极穿透。 靶材一般都是固定在(相对)厚金属(例如 Cu)电极上。

　　2. 由于电、磁、气、、等离子体、安装、靶材自身等因素的影响，靶材的消耗是不均匀的，基本成一个 环“U”状。“U”谷深度也不尽相同，存在一个薄弱点(最先穿透)。

　　3. 穿透时电压、电流变化：主要视 (金属)靶材 、基座 的材料特性(原子序数、半径、电导率……)而有差异。

　　4. 厚度监测：首先必须知道 初始靶材厚度，监测分两种： a. 直接法：打开机台，拆下靶材测量，绘出剩余靶材厚度分布图， b. 间接法：最大溅射淀积速率 x 时间 x 工艺批(片) = 安全系数 x 初始厚度。 其中安全系数由a给出，或保守取值。