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国内溅射靶材发展与应用

浏览数量:50     作者:本站编辑     发布时间: 2017-07-07      来源:本站

国内溅射靶材发展与应用

  目前高端品质靶材主要由:日本、德国和美国生产,我国靶材产业起步较晚,在产品质量与精细标准上与国外有不少的差距,国内也有许多大学及研究机构对靶材积极投入了大量钻研与开发,经过这几年的发展也涌现了一批在靶材行业优秀的公司和院校。在国内占据了大部分中等和要求不高的靶材市场份额。

  中国及亚太地区靶材的需求占有世界70%以上的市场份额。大量不同的沉积技术用来沉积生长各种薄膜,而靶材是制作薄膜的关键,品质的好坏对薄膜的意义重大。20世纪90年代以来靶材已蓬勃发展成为一个专业化产业。

  国内靶材的主要研究单位及国内外主要生产商

  对国内研究单位的详细掌握,可以寻求恰当的技术合作伙伴。我国大学和研究所已经开发的许多种类靶材并没有见诸于市场,如北京工业大学研制的复合梯度靶,清华大学和西南交通大学研制的铝掺杂氧化锌陶瓷靶材等,即靶材产品研发和市场严重脱节。

  靶材专利问题

  目前靶材专利不多,主要为日本和美国所有(日本最多),欧洲和中国也有一些,但数量较少。已公示靶材专利主要集中于保护靶材的制备工艺,少量专利保护靶材材料设计(且主要集中于添加稀土元素,改良原有基靶的性能)。从中国目前国情来看,制备工艺专利仅具有形式上的约束作用,而很难有实质性的制约。因而,靶材的生产不会出现无铅钎料面对的国外专利规避问题。


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