攀时推出MoNa溅射靶材 有效提高CIGS电池效率

       据最新报道，攀时高性能材料（Plansee High Performance Materials）日前推出具有高纯度和均匀精的显微结构的MoNa溅射靶材。在与瑞士联邦材料科学与技术实验室（Empa）进行的联合测试结果显示，MoNa溅射靶材的性能要优于其他同类靶材。使用钠掺杂钼层后，CIGS太阳能电池的效率据称得到了极大的提高。

　   目前，该行业存在诸多问题。以美元计算的每瓦生产成本的下降是CIGS太阳能组件制造商所遇到的严峻挑战之一；特别是在溅射工艺——CIGS材料沉积的重要技术之一中，对于转换率提高具有极重要的作用。而与溅射沉积薄膜所具有的较高的横向同质性不同，溅射靶材通常情况下具有腐蚀性特性，并且不具备同质性，这是由于不同的等离子体密度而造成的。因此，即使在大多数靶材区域内都具有足够的材料，一些靶材也不得不被更换。为克服这一缺陷，具有不同外径的“犬骨型”靶材——旋转靶材和不同厚度的靶材——是延长靶材寿命和更换周期的解决方案之一。

　   对此，攀时制作出一套解决方案。将溅射系统由平面结构更改为旋转靶材可将靶材的利用率由30%有效提至70%，从而节省了昂贵的原材料的使用。通过由纯钼制成的单片钼旋转靶材所完成的背接触钼沉积具有额外的益处：即无需使用昂贵的焊接材料将钼材料与不锈钢管相连接。此外，高达30 kW/m的较高的溅射能源也可在工艺中使用。这就造成了较高的热负载，而焊接型的靶材是无法承受这种热负载的：常用的焊接材料是铟，而该材料在156°C的时候就被熔化，因此钼靶材可排除出现剥落现象的风险。较高的减少能量同样也可实现较高的沉积率，并改善薄膜的特性，如提高电导率等。