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PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目

浏览数量:289     作者:本站编辑     发布时间: 2017-08-23      来源:本站

PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目

什么是靶材?


靶材就是目标材料。用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。用于物理镀膜中的溅镀,主要有金属靶材和陶瓷靶材。


简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。 


PVD就是物理气相沉积,包括:真空蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜。那么PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目?下面我们就一起了解一下。


1.靶材的纯度,可以用化学分析法、光谱能量测定法等方法检验;


2.晶粒度:要求晶粒越细小越好。而且晶粒要尽可能均匀一致。可以用光学显微镜检验;


3.密度:原则上,靶材的密度越高越好。密度越高,晶粒间隙越小,压制紧密,靶材质量越好。可以用称量法检验;


4.组织均匀性:对于两种成份以上的合成靶,特别是相互难融的成分,还可以做金相检验,看成分、组织是否均匀一致;


5.机械性能:有些靶材,如有色金属等可以要求一下。石墨靶,高级一点的,也有该要求。检验用专门的机械性能试验机。


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