PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目

什么是靶材?

靶材就是目标材料。用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。用于物理镀膜中的溅镀，主要有金属靶材和陶瓷靶材。

简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。 

PVD就是物理气相沉积，包括：真空蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀膜。那么PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目?下面我们就一起了解一下。

1.靶材的纯度，可以用化学分析法、光谱能量测定法等方法检验;

2.晶粒度：要求晶粒越细小越好。而且晶粒要尽可能均匀一致。可以用光学显微镜检验;

3.密度：原则上，靶材的密度越高越好。密度越高，晶粒间隙越小，压制紧密，靶材质量越好。可以用称量法检验;

4.组织均匀性：对于两种成份以上的合成靶，特别是相互难融的成分，还可以做金相检验，看成分、组织是否均匀一致;

5.机械性能:有些靶材，如有色金属等可以要求一下。石墨靶，高级一点的，也有该要求。检验用专门的机械性能试验机。

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