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磁控溅射靶材中毒的原因,现象?如何避免?

浏览数量:63     作者:本站编辑     发布时间: 2017-07-24      来源:本站

磁控溅射靶材中毒的原因,现象?如何避免?

  磁控溅射靶材中毒一直是困扰大家的问题,今天宝鸡欧凯靶材帮助大家找到磁控溅射靶材中毒的原因、现象、以及避免靶材中毒的方法。

       靶材中毒的主要原因是介质合成速度大于溅射产额(氧化反应通入气体太多),造成导体靶材丧失导电能力,只有提高击穿电压,才能起辉,电压过高容易发生弧光放电。

  中毒现象:靶电压长时间不能达到正常,一直处于低电压运行状态,并伴有弧光放电;靶表面呈现白色附着物或密布针状灰色放电痕迹。

  避免靶材中毒的方法:若要彻底杜绝靶中毒,必须用中频电源或射频电源代替直流电源;减少反应气体的通入量,提高溅射功率,清理靶材上的污染物(特别是油污)、选择真空性能好的防尘灭弧罩等方法均可有效防止靶材中毒现象的发生。靶材内冷却水浸泡的磁铁,有污渍,只要磁场强度足够,冷却效果良好,对靶材影响不大。


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