浏览数量: 395 作者: 本站编辑 发布时间: 2017-05-17 来源: 本站
通常将欲沉积的材料制成板材-靶,固定在阴极上。基片置于正对靶面的阳极上,距靶一定距离。系统抽至高真空后充入(10~1)帕的气体(通常为氩气),在阴极和阳极间加几千伏电压,两极间即产生辉光放电。放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极,与靶表面原子碰撞,受碰撞从靶面逸出的靶原子称为溅射原子,其能量在1至几十电子伏范围内。溅射原子在基片表面沉积成膜。其中磁控溅射可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定、操作控制方便等优点,成为镀膜工业应用领域(特别是建筑镀膜玻璃、透明导电膜玻璃、柔性基材卷绕镀等对大面积的均匀性有特别苛刻要求的连续镀膜场合)的首选方案。
国内溅射靶材厂家该如何选择?溅射靶材厂家哪个好?要选择适合自己的溅射靶材,首先要了解自己的需求,了解溅射靶材的基本常识。那么对于溅射靶材厂家的选择,小编为大家分析下几个方面:
溅射属于PDV(物理气相沉积)三种基本方法:真空蒸发、溅射 、离子镀(空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀)中的一种。
一、溅射靶材的分类
陶瓷溅射靶材 ,硅化物陶瓷溅射靶材 ,硫化物陶瓷溅射靶材 ,碲化物陶瓷溅射靶材 ,其他陶瓷靶材,掺铬一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化铟靶材(InP),砷化铅靶材(PbAs)。
金属溅射镀膜靶材,合金溅射镀膜靶材,陶瓷溅射镀膜靶材,硼化物陶瓷溅射靶材,碳化物陶瓷溅射靶材,氟化物陶瓷溅射靶材 ,氮化物陶瓷溅射靶材 ,氧化物陶瓷靶材,硒化物。
二:靶材应用行业分类
1、太阳能光伏光热行业靶材
氧化锌铝靶ZAO; 硅靶;钛靶、氧化钛靶;铝靶;铬靶、镍铬;锌铝、钨、钼
靶等。
2、 装饰、工模具镀膜行业靶材铬靶(Cr),平面铬靶,喷涂铬管;
铬硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(电弧,平面靶,旋转管靶);
钛铝靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%(电弧,平面靶,旋转管靶);
钛铝硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(电弧,平面靶,旋转管靶);
钛靶,钛管靶,锆靶;
金靶,玫瑰金靶;
石墨靶,镍靶,铝靶,不锈钢靶等。
3、 建筑汽车玻璃大面积镀膜
硅铝靶、旋转硅铝靶;氧化钛靶;锡靶;铬靶;硅靶;钛靶、不锈钢靶。
4、 光学,光通信,光存储行业
银靶;钽靶;硫化锌靶;高纯铝靶;硅靶。
5、 平面显示行业
ITO 靶;二氧化硅靶;高纯硅靶5-7N;高纯铬靶3N5;TFT 钼靶;钼铌靶;钨钛
靶90/10wt%;高纯铝靶等。
国内溅射靶材厂家应该如何选择?
首先,厂商的实力。
其次,厂商的产品附加值。
最后,作为加盟代理商必须去该厂商的总部考察考察,这点似乎大家都知道做。
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