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金属靶材喷涂和熔铸技术

浏览数量:27     作者:欧凯靶材小编     发布时间: 2017-12-25      来源:欧凯靶材

金属靶材喷涂和熔铸技术

  靶材是真空镀膜的重要原材料,靶材的纯度、密度直接影响膜系的成分和综合性能。


  喷涂制备金属靶是利用电弧将靶材材料加热到熔融或半熔融状态,借助高速气体将其雾化,形成小的熔滴,并加速喷射到衬管或衬板表面,快速冷却凝固成金属涂层靶材的过程。非金属和陶瓷靶通常是利用等离子加热粉末材料的方法喷涂制成。


  靶材熔铸技术可分为三种不同的浇铸形式:无衬管或衬板的整体式甩带浇铸(例如NiCr、NiV靶)、有衬管或衬板的直接浇铸(例如Zn、Sn及其合金靶)、分段甩带浇铸再粘结成靶材(Ag等)。下面的表格给出了塔吉特主要旋转靶材及其制备方法。




热喷涂旋转靶熔铸旋转靶
靶材表面状态平整,灰色,色相较暗平整致密,有金属光泽
孔洞表现大量直径<0.5mm的小孔偶有单个孔洞,直径<0.2mm
放电率

大量小孔容易吸收湿气

较高的放电率

很少放电

稳定溅射

溅射性能

溅射过程中松散颗粒容易掉落

污染被镀物

显微组织表现出致密性

无松散颗粒

使用寿命较短比喷涂管长约20%


                                     热喷涂和熔铸靶材的溅射性能差异


  总结:近二三十年以来,随着溅射镀膜技术的快速发展,新的靶材制备技术不断出现,靶材质量和性能也取得了显著提高。若您还有金属靶材的相关疑问,欢迎点击免费咨询服务,欧凯靶材小编会在第一时间回复您。


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