金属靶材喷涂和熔铸技术

　　靶材是真空镀膜的重要原材料，靶材的纯度、密度直接影响膜系的成分和综合性能。

　　喷涂制备金属靶是利用电弧将靶材材料加热到熔融或半熔融状态，借助高速气体将其雾化，形成小的熔滴，并加速喷射到衬管或衬板表面，快速冷却凝固成金属涂层靶材的过程。非金属和陶瓷靶通常是利用等离子加热粉末材料的方法喷涂制成。

　　靶材熔铸技术可分为三种不同的浇铸形式：无衬管或衬板的整体式甩带浇铸(例如NiCr、NiV靶)、有衬管或衬板的直接浇铸(例如Zn、Sn及其合金靶)、分段甩带浇铸再粘结成靶材(Ag等)。下面的表格给出了塔吉特主要旋转靶材及其制备方法。

                                     热喷涂和熔铸靶材的溅射性能差异

　　总结：近二三十年以来，随着溅射镀膜技术的快速发展，新的靶材制备技术不断出现，靶材质量和性能也取得了显著提高。若您还有金属靶材的相关疑问，欢迎点击免费咨询服务，欧凯靶材小编会在第一时间回复您。