平面靶材简介

　　溅射靶材根据形状可分为平面靶材，多弧靶材，旋转靶材。平面靶材主要是指具有一定厚度的圆形靶材及矩形靶材，例如：直径100*厚度40mm的铜靶材。平面靶材通过镙文等方式与溅射设备相连接，在真空条件下溅射成膜层附着于基片上，再通过各种手段(刻蚀)对薄膜加工，以满足不同需要。本文从平面靶材的成分结构，生产工艺和应用领域方面介绍了平面靶材。

　　1.成分结构

　　主要平面靶材：

　　高纯铝靶材Al  高纯铜靶材Cu  高纯铁靶材Fe  高纯钛靶材Ti  高纯镍靶材Ni

　　高纯镁靶材Mg高纯铬靶材Cr   高纯锌靶材Zn  高纯银靶材Ag  高纯钴靶材Co

　　高纯铌靶材Nb 高纯锡靶材Sn  高纯铟靶材In   高纯锆靶材Zr   高纯钽靶材Ta

　　高纯锗靶材Ge 高纯硅靶材Si    高纯钨靶材W   高纯铪靶材Hf  高纯钇靶材Y

　　高纯钆靶材Gd 高纯钐靶材Sm  高纯镝靶材Dy  高纯铈靶材Ce  高纯镧靶材La

　　高纯金靶材Au 高纯不锈钢靶材 高纯石墨靶材C 高纯硒靶材Se  高纯钼靶材Mo

　　高纯合金溅射靶材

　　二元合金靶：

　　镍铬靶Ni-Cr  镍铁靶Ni-Fe  镍钴靶Ni-Co  镍锆靶Ni-Zr  镍铝靶Ni-Al  镍铜靶Ni-Cu  镍钒靶Ni-V  铜铟靶Cu-In  铜镓靶Cu-Ga  铜硒靶Cu-Se  钛铝靶Ti-Al  铝硅靶Al-Si  铝铜靶Al-Cu  铝钛靶Al-Ti  铝镁靶Al-Mg 银铜靶Ag-Cu   铁锰靶Fe-Mn  铟锡靶In-Sn  钴铁靶Co-Fe  钨钛靶W-Ti  锌铝靶Zn-Al  铝钪靶Al-Sc  铜锡靶Cu-Sn  锆铝靶Zr-Al  锆铁靶Zr-Fe  锆硅靶Zr-Si  钒铝靶V-Al  硼铁靶B-Fe

　　多元合金靶：

　　钴铁硼靶Co-Fe-B  铜铟镓靶Cu-In-Ga  铜铟镓硒靶Cu-In-Ga-Se等。

　　2.生产工艺

　　熔融铸造法、粉末冶金法。

　　3.应用领域

　　平面靶材主要应用于装饰行业、建筑玻璃、汽车玻璃、低辐射玻璃、平面显示器、光学工业、光数据存储行业等。