什么是靶材绑定？

　　宝鸡欧凯溅射靶材今天主要从靶材绑定的定义，适用范围和背靶的选择三个方面来为大家介绍一下靶材绑定。

　　一.靶材绑定的定义

　　靶材绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要由三种方式：压接、钎焊和导电胶。

　　1.压接：采用压条，一般为了提高接触的良好性，会增加石墨纸、Pb或In皮;

　　2.钎焊：一般使用软钎料的情况下，要求溅射功率小于20W/cm2，钎料常用In、Sn、In-Sn;

　　3.导电胶：采用的导电胶要耐高温，厚度在0.02-0.05um。

　　二.绑定的适用范围

　　建议绑定的靶材：

　　ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材;锡、铟等软金属靶;靶材太薄、靶材太贵的情况等。

　　但下列情况绑定有弊端：

　　1.熔点低的靶材，像铟、硒等，金属化的时候可能会变软变形;

　　2.贵金属靶材，一是实际重量易出现分歧，二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料，建议垫一片铜片。

　　三.背靶的选择

　　对材质的要求：一般选用无氧铜和钼靶，厚度在3mm左右

　　导电性好：常用无氧铜，无氧铜的导热性比紫铜好;

　　强度足够：太薄，易变形，不易真空密封;

　　结构要求：空心或者实心结构;

　　厚度适中：3mm左右，太厚，消耗部分磁强;太薄，容易变形。

　　如果大家对于靶材绑定还有什么疑问，请联系我们!