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什么是靶材绑定?

浏览数量:14     作者:本站编辑     发布时间: 2017-07-14      来源:本站

什么是靶材绑定?

  宝鸡欧凯溅射靶材今天主要从靶材绑定的定义,适用范围和背靶的选择三个方面来为大家介绍一下靶材绑定。

  一.靶材绑定的定义

  靶材绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来。主要由三种方式:压接、钎焊和导电胶。

  1.压接:采用压条,一般为了提高接触的良好性,会增加石墨纸、Pb或In皮;

  2.钎焊:一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/cm2,钎料常用In、Sn、In-Sn;

  3.导电胶:采用的导电胶要耐高温,厚度在0.02-0.05um。

  二.绑定的适用范围

  建议绑定的靶材:

  ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材;锡、铟等软金属靶;靶材太薄、靶材太贵的情况等。

  但下列情况绑定有弊端:

  1.熔点低的靶材,像铟、硒等,金属化的时候可能会变软变形;

  2.贵金属靶材,一是实际重量易出现分歧,二是金属化以及解绑的时候都会有浪费料,建议垫一片铜片。

  三.背靶的选择

  对材质的要求:一般选用无氧铜和钼靶,厚度在3mm左右

  导电性好:常用无氧铜,无氧铜的导热性比紫铜好;

  强度足够:太薄,易变形,不易真空密封;

  结构要求:空心或者实心结构;

  厚度适中:3mm左右,太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形。

  如果大家对于靶材绑定还有什么疑问,请联系我们!


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