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铬铝合金靶材的制备方法

浏览数量:19     作者:欧凯靶材小编     发布时间: 2018-01-05      来源:欧凯靶材

铬铝合金靶材的制备方法

  铬铝合金靶材,顾名思义就是铬跟铝合金制成的靶材,不少朋友对于这种靶材是怎么制成的十分好奇,下面就请欧凯靶材小编为大家介绍一下铬铝合金靶材的生产方法,生产方法包括依次进行的如下步骤:


  (1)选择纯度大于99.5wt%的铬粉和纯度大于99.99wt%的铝粉作为原材料,铬粉和铝粉的粒度分布区间为?100目+200目,按照要求的比例放入V型混料机中,然后将混料机抽真空至10?1Pa级,通入氩气,再抽真空,反复3次,然后,设定10~30转/分的速度混料5~10小时;


  (2)将混料完毕的粉体置于冷等静压包套中,抽真空后密封,在100MPa~300MPa的压力下压制10~20分钟,然后将压制好的坯体置于真空自蔓延高温合成炉中,进行自蔓延反应,洗炉过程中,真空度要求达到10?3Pa级,获得泡沫状的铬铝合金;


  (3)将泡沫状的铬铝合金用破碎机粉碎成为?200目的合金粉体,然后将合金粉体置于冷等静压包套中,抽真空后密封,在200MPa~400MPa的压力下压制30~60分钟,获得铬铝合金坯;


  (4)将铬铝合金坯置于钢包套中,进行真空脱气处理,处理完毕,将钢包套置于热等静压设备中进行热等静压烧结处理获得铬铝合金锭坯,热等静压烧结温度为1100~1250℃,烧结压力为100~200MPa,烧结时间为2~10小时;


  (5)对铬铝合金锭坯进行机加工处理,得到铬铝合金靶材成品。


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