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溅射靶材该如何清洁

浏览数量:43     作者:本站编辑     发布时间: 2017-07-05      来源:本站

溅射靶材该如何清洁

  靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。金属靶材可以通过四步清洁:

  第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

  第二步与第一步类似用酒精清洁;

  第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。

  第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材,以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

  注意:使用靶材时请配带干净而且不会起绒的保护手套,绝对避免用手直接接触靶材。

  为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以最大功率密度进行溅射。


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