溅射靶材该如何清洁

　　靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。金属靶材可以通过四步清洁：

　　第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

　　第二步与第一步类似用酒精清洁;

　　第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。

　　第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材，以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒。

　　注意：使用靶材时请配带干净而且不会起绒的保护手套，绝对避免用手直接接触靶材。

　　为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧，有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物，这也有助于用户可以连续以最大功率密度进行溅射。