钛铝靶材IP咖啡工艺案例

真空抽至5.5x10-3Pa加热至250℃后降温至160℃再起镀

氩离子清洗(辉光放电)3.0x100Pa偏压-500V 8分钟

钛离子轰击(主弧轰击) Ar 3.0x10-1Pa -300V 钛靶镀1分钟

钛靶+钛铝靶 Ar 3.0x10-1Pa -300V 混镀1分钟

关掉钛靶

钛铝靶 N2 8.0x10-1 -80V 镀15～20分钟

结束出炉

操作时注意：

1、关闭光栅阀;

2、钛铝靶在安装时一定要贴合到靶座底部冷却要好;

3、多弧靶的磁铁同极性摆放;

4、镀膜时间要够长、颜色更加稳定;但要充分考虑光亮度。