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钛铝靶材IP咖啡工艺案例

浏览数量:7     作者:本站编辑     发布时间: 2017-08-02      来源:本站

钛铝靶材IP咖啡工艺案例

真空抽至5.5x10-3Pa加热至250℃后降温至160℃再起镀

氩离子清洗(辉光放电)3.0x100Pa偏压-500V 8分钟

钛离子轰击(主弧轰击) Ar 3.0x10-1Pa -300V 钛靶镀1分钟

钛靶+钛铝靶 Ar 3.0x10-1Pa -300V 混镀1分钟

关掉钛靶

钛铝靶 N2 8.0x10-1 -80V 镀15~20分钟

结束出炉

操作时注意:

1、关闭光栅阀;

2、钛铝靶在安装时一定要贴合到靶座底部冷却要好;

3、多弧靶的磁铁同极性摆放;

4、镀膜时间要够长、颜色更加稳定;但要充分考虑光亮度。


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