浏览数量: 57 作者: 本站编辑 发布时间: 2017-08-02 来源: 本站
真空抽至5.5x10-3Pa加热至250℃后降温至160℃再起镀
氩离子清洗(辉光放电)3.0x100Pa偏压-500V 8分钟
钛离子轰击(主弧轰击) Ar 3.0x10-1Pa -300V 钛靶镀1分钟
钛靶+钛铝靶 Ar 3.0x10-1Pa -300V 混镀1分钟
关掉钛靶
钛铝靶 N2 8.0x10-1 -80V 镀15~20分钟
结束出炉
操作时注意:
1、关闭光栅阀;
2、钛铝靶在安装时一定要贴合到靶座底部冷却要好;
3、多弧靶的磁铁同极性摆放;
4、镀膜时间要够长、颜色更加稳定;但要充分考虑光亮度。