几种靶材的相关工艺流程

　　众所周知，高纯度溅射靶材已经在各个领域被广泛应用，但是许多用户却不了解靶材在生产过程中的工艺流程。宝鸡欧凯今天就为大家主要介绍三种高纯靶材的生产工艺流程。

　　1.高纯铝靶

　　超高纯铝铸锭-----切断-----塑性加工-----热处理-----焊接-----机加-----检测-----清洗-----干燥-----包装-----入库

　　2.高纯钽靶

　　钽靶坯-----焊接-----机加-----检测-----清洗-----干燥-----包装-----入库

　　3.高纯钨钛靶

　　高纯粉末-----装模-----真空热压-----热等静压-----平面磨加工-----焊接-----焊接结合率检测-----机械加工-----尺寸检测-----清洗-----干燥-----包装-----入库

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