当前所在位置: 欧凯靶材 » 新闻中心 » 溅射靶材相关技术文档 » 当今世界,你了解磁控溅射镀膜技术吗

相关产品

内容为空!

当今世界,你了解磁控溅射镀膜技术吗

浏览数量:232     作者:本站编辑     发布时间: 2017-04-24      来源:本站

 当今世界,你了解磁控溅射镀膜技术吗

       磁控溅射镀膜是一种物理气相镀膜方式,在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场,在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar氩气),永久磁铁在靶材料表面形成250~350高斯的磁场,同高压电场组成正交电磁场。在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电子,靶上加有一定的负高压,从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大,在阴极附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向片淀积成膜。

  磁控溅射一般分为二种:支流溅射和射频溅射,其中支流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛,除可溅射导电材料外,也可溅射非导电的材料,同时还司进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射,目前常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射.

    如今磁控溅射镀膜技术已较为成熟,主要应用于以下领域:装饰薄膜靶材,建筑玻璃、汽车玻璃、低辐射玻璃,平面显示器,光通讯/光学工业,光数据存储工业,光数据存储工业,磁数据存储工业。宝鸡欧凯为您提供高质量靶材,让您用的放心!


Copyright © 2009-2016 陕西欧凯利靶材股份有限公司 版权所有  陕ICP备16008118号  技术支持:布瑞恩