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合金靶材如何储存保养

浏览数量:8     作者:本站编辑     发布时间: 2017-06-23      来源:本站

合金靶材如何储存保养

  靶材储存应该如何储存?

  欧凯靶材所提供的靶材包装在双层真空塑料袋中, 我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中, 尤其是帖合靶材更需要保存在真空条件下,以避免帖合层氧化影响贴合质量。对于金属靶材的包装, 我们建议最少需要包装在洁净的塑料袋中

  靶材保养技巧:

  为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧,有必要阶段性的除去溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物,这也有助于用户可以连续以最大功率密度进行溅射。

  靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。金属靶材可以通过四步清洁:

  第一步:用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;

  第二步:与第一步类似用酒精清洁;

  第三步:用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。

  第四步:在清除完有污垢的区域后,再用高压低水气的氩气冲洗靶材, 以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒

  欧凯靶材主研发的真空溅射靶材、光学镀膜材料广泛应用于装饰镀膜、工具镀膜、光学镀膜及镀膜玻璃工业与平板显视行业。生产的溅射靶材成分设计合理、表面平整光滑,具有良好的导电性,溅射时工作电流稳定,高阻靶材的底板焊接牢固适用,采用该靶材制作的电阻器,具有阻值集中、稳定性好,有良好的耐热、耐磨和抗氧化性能,电阻温度系数小等特点。


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