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钼溅射靶材的分类与应用

浏览数量:14     作者:本站编辑     发布时间: 2017-07-31      来源:本站

钼溅射靶材的分类与应用

随着电子行业综合性能和使用环境要求的提高, 钼合金靶材也表现出了其独特的性能。钼溅射靶可在各类基材上形成薄膜, 这种溅射膜广泛用作电子部件和电子产品,下面关于钼靶材的应用,宝鸡欧凯溅射靶材公司给出以下讲解。

钼靶材的分类

1、平面靶材

2、旋转靶材

3、溅射靶材

钼靶材工艺介绍

采用等静压成型-中频炉烧结-轧机轧制-机加工处理-检测-成品。

钼靶材的应用

钼靶材广泛用于导电玻璃、STN/TN/TFT-LCD、光学玻璃、离子镀膜等行业,适用所有平面镀膜及旋转镀膜系统。

这些是基于钼的高熔点、高电导率、较低的比阻抗、较好的耐腐蚀性以及良好的环保性能。以前, 平面显示器的配线材料主要是铬, 但随着平面显示器的大型化和高精度化, 越来越需要比阻抗小的材料。

另外, 环保也是必须考虑的问题。而钼具有比阻抗和膜应力仅为铬的1 /2的优势, 而且不存在环境污染问题, 因此成为了平面显示器溅射靶材的首选材料之一。


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