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靶材烧结法特点概述

浏览数量:66     作者:本站编辑     发布时间: 2017-06-21      来源:本站

靶材烧结法特点概述

  什么是靶材烧结法?常压烧结法是20世纪90年代初期兴起的一种靶材制备方法,它是采用预压方式(或粉浆浇铸方式)制备高密度的靶材素坯,在一定气氛和温度下对靶材素坯进行烧结,通过对烧结温度和烧结气氛的控制,使靶材素坯晶粒的生长得到有效控制,达到靶材的高致密化及晶粒分布的均匀性。

  烧结法的特点:

  (1)对粉末的烧结活性有很高的要求,因此对粉体的形状、粒度以及粒度分布要求较严,为了达到要求一般对粉末进行球磨、气流粉碎以及沉降分级处理。

  (2)制备的靶材一般较薄,所以对靶材变形的控制要求很严,一般要求有很好的净成型能力。

  (3)烧结须在O2中进行,且O2的压力不小于1.01?105Pa。

  (4)设备成本较低,能生产大尺寸靶材,且易实现工业化生产。

  常压烧结法对粉末的烧结活性有很高的要求,将粒径小于1??m的ITO粉末放入聚氨酯球磨罐,加入钢芯尼龙球,球磨60h.

  然后采用模压加冷等静压的复合工艺压制素坯,先用250kg/cm2的压力进行模压成型,再用3t/cm2的压力进行冷等静压压制,制得素坯的密度为3.93g/cm3。其烧结工艺为:以25!/h的升温速度将炉温升至1500!,保温5h,烧结气氛为纯O2。


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