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合金靶材预溅射

浏览数量:21     作者:欧凯靶材小编     发布时间: 2017-10-23      来源:欧凯靶材

合金靶材预溅射

  合金靶材预溅射建议采用纯氩气进行溅射,可以起到清洁靶材表面的作用。靶材进行预溅射时建议慢慢加大溅射功率,陶瓷类靶材的功率加大速率建议为1.5W小时/平方厘米。金属类靶材的预溅射速度可以比陶瓷靶材块,一个合理的功率加大速率为1.5W小时/平方厘米。


  在进行预溅射的同时需要检查靶材起弧状况,预溅射时间一般为10分钟左右。如没有起弧现象,继续提升溅射功率到设定功率。根据经验,金属靶材可承受的最大溅射功率为25watts/平方厘米,陶瓷靶材为10watts/平方厘米。


  请同时参考用户系统操作手册中关于溅射时真空腔体压力的设定根据经验,一般应确保冷却水出水口的水温应低于35摄氏度,但最重要的是确保冷却水的循环系统能有效工作,通过冷却水的快速循环带走热量,是确保能以较高功率连续溅射的一项重要保障。对于金属靶材一般建议冷却水流量为20LPM水压在5GMP左右;对于陶瓷靶材一般建议水流量在30LPM水压在9GMP左右。


  温馨提示:我们建议用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中, 尤其是帖合靶材更需要保存在真空条件下,以避免帖合层氧化影响贴合质量。若您对以上内容或相关产品有任何疑问,欢迎点击在线询价咨询服务,欧凯靶材客服会在第一时间回复您。


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