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国产溅射靶材存在的缺点跟问题

浏览数量:242     作者:欧凯靶材小编     发布时间: 2017-07-28      来源:欧凯靶材

国产溅射靶材存在的缺点跟问题

  与国际靶材公司相比,我国靶材企业起步较晚 ;同国际靶材先进的水平相比,我国靶材技术与产业水平还存在较大的差距。虽然我国各种小靶材公司很多,但还没有一个专业化并有一定规模的靶材公司在全球高端靶材市场占有一席之地。目前,工模具、玻璃、磁记录、平面显示、半导体、太阳能等高端应用市场,还主要被欧美或日本的靶材公司所垄断。


  靶材的产品特点是多品种、小批量、生产周期长,产品发展趋势是向着更高纯度、更高密度、更大尺寸的方向发展。因此,靶材生产商要有相当的材料创新开发能力,来研发各种各样的靶材产品。我国靶材公司大多发展时间很短,创新能力难以满足靶材的迅速发展及变化需求,技术问题、人才问题、国际竞争问题都限制了产业的发展,影响了布局的拓展。


  首先,在技术方面,我国溅射靶材企业在产品品种、制备工艺、应用等方面都面临巨大挑战。市场的快速发展,对产品品种要求越来越多,更新换代也越来越快,对传统工艺也提出更高要求,需要引入新工艺制备靶材,最终解决尺寸、平整度、纯度、杂质含量、密度、氮/氧/碳/硫(N/O/C/S)、晶粒尺寸与缺陷控制、表面粗糙度、电阻值、异物(氧化物)含量与尺寸、导磁率等问题。在应用方面,靶材利用率需要得到提高 ;此外,还需要解决溅射过程中微粒飞溅的问题。如图5溅射靶材生产示意图所示,溅射过程中溅射靶受轰击时,由于靶材内部孔隙内存的气体突然释放,有可能会造成大尺寸的靶材颗粒或微粒飞溅,成膜之后膜材受二次电子轰击时也可能会造成微粒飞溅。这些飞溅微粒的出现,会降低薄膜品质,所以微粒飞溅的问题需要得到解决。


  其次,我国溅射靶材产业发展时间短,人才积累不足。面对强大的国际竞争,溅射靶材产业尤显专业人才匮乏。靶材的研制主要是在企业内实施,各靶材公司为在竞争中取得优势,技术均高度保密,所以该行业专业化很强,人才选择局限于为数不多的靶材公司内部。高校及科研院所开展溅射靶材基础研究及应用研究较少,时间也较短,研究力度也没有靶材公司深入,因此培养的人才无论是在数量上还是水平上都略显不足。


  再次,我国溅射靶材业面临的市场竞争日益激烈。国外企业的成本较高,这为中国制造的靶材提供了良好的进入国际市场的机会 ;但是随着全球制造中心向中国的转移,国外靶材供应商考虑到价格较高和交期较长的影响,他们希望靶材本土化供应,纷纷在中国建立加工厂,一方面在国际竞争中保持及提高优势,另一方面抢占中国市场,这就使得国内靶材业面临更激烈的竞争。


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