用简单方法描述靶材的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。 例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。 更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
溅射属于PDV（物理气相沉积）三种基本方法：真空蒸发、溅射 、离子镀（空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀）中的一种。
所谓溅射就是从靶表面撞击出原子物质的过程。溅射产生的原子或分子沉积到基体(零件)表面的过程就是溅射镀膜。溅射镀膜与真空镀膜相比，有不同的特点。
